| 摘要 |
<p>Magnetronentladungen werden gepulst betrieben, um das sogenannte 'arcing' zu vermeiden. Bei mit Wechselstrom gespeisten Magnetronentladungen ist das Verfahren auf geringe Leistungen der Energieeinspeisung aufgrund der Belastbarkeit der notwendigen elektrischen Bauelemente begrenzt. Werden die Magnetronentladungen mit Gleichstrom gespeist, verschlechtert sich durch die Bedeckung der Anodenflächen mit Schichtmaterial deren Wirkungsweise. Mit dem neuen Verfahren soll die Einspeisung hoher Leistungen ermöglicht und das 'arcing' verhindert werden. In Magnetronentladungen mit mindestens zwei Magnetron-Elektroden wird die Energie derart zugeführt, daß mindestens je eine Magnetron-Elektrode Katode bzw. Anode ist und eine Anzahl n1 von Gleichstrompulsen in dieser Polung eingespeist wird. Anschließend erfolgt ein Polwechsel mindestens je einer Magnetron-Elektrode und es wird eine Anzahl n2 von Gleichstrompulsen in dieser Polung eingespeist. In diesem Sinn wird das Verfahren fortgeführt, wobei die Frequenz der Gleichstrompulse größer als die der Polwechsel ist. Dadurch wird die Wirksamkeit der Energieeinspeisung verbessert. Mit dem Verfahren und der Einrichtung lassen sich Schichten unterschiedlichster Eigenschaften z.B. für die Glas-, Verpackungs-, Elektronikindustrie oder den Maschinenbau herstellen.</p> |
