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发明名称
摘要
申请公布号 JP2964062(B2) 申请公布日期 1999.10.18
申请号 JP19940232361 申请日期 1994.08.31
申请人 TEIKOKU TSUSHIN KOGYO KK 发明人 ITO HARUO;FUKUDA NAOKI;MYAMOTO SADAO
分类号 G01B7/00;G01D5/18;H01L43/08;(IPC1-7):G01B7/00 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
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