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发明名称 VAPOR ASSISTED ROTARY DRYING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1242778(A1) 申请公布日期 2002.09.25
申请号 EP20000967040 申请日期 2000.09.28
申请人 SEMITOOL, INC. 发明人 BERGMAN, ERIC, J.
分类号 F26B5/08;H01L21/306;F26B9/06;F26B11/04;F26B21/00;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):F26B5/08;F26B17/24 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
主权项
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