基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的方法

摘要

本发明公开了一种基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的方法。一束振动方向垂直于纸面的线偏振光经过能够旋光45°的法拉第旋光器，其偏振方向改变45°，入射至偏振分光镜，经偏振分光镜和1/4波晶片至装在被测物体上的测量平面镜，再反射至角锥棱镜后，利用角锥棱镜的逆反射特性，平行出射返回至原测量平面镜，经测量平面镜反射后再次透过1/4波晶片，由偏振分光镜反射后垂直入射到参考平面镜，由于光路的可逆和器件的偏振特性，垂直入射到参考平面镜的激光将按原路返回，最后经法拉第旋光器透射后成为振动方向平行于纸面的线偏振光，实现了光路的原路返回。可应用于光路原路返回的测量仪器。本发明适用于纳米、微光机电、集成电路芯片制造和生物技术等测量领域。

主权项

1、基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的方法，其特征在于：一束振动方向垂直于纸面的线偏振光经过能够旋光45°的法拉第旋光器，其偏振方向改变45°，入射至偏振分光镜，透过偏振分光镜和1/4波晶片至装在被测物体上的测量平面镜，经测量平面镜反射至角锥棱镜后，利用角锥棱镜的逆反射特性，平行出射返回至原测量平面镜，经测量平面镜反射后再次透过1/4波晶片，由偏振分光镜反射后垂直入射到参考平面镜，由于光的可逆特性和偏振分光镜、1/4波晶片及角锥棱镜的偏振特性，垂直入射到参考平面镜的激光被反射后，依次经偏振分光镜、1/4波晶片、测量平面镜、角锥棱镜、测量平面镜、1/4波晶片，偏振态在原来基础上又改变了90°，与偏振分光镜的透振方向一致，透过偏振分光镜，最后经法拉第旋光器顺时针旋光45°后，成为振动方向平行于纸面的线偏振光，实现了入射光的原路返回；第一次入射至偏振分光镜的线偏振光的振动方向与偏振分光镜的透振方向平行，参考平面镜的反射平面与偏振分光镜的透振方向平行。