用于转换基板的设备

摘要

本发明系提供一种基板移送装置，可防止基板的下垂，使蚀刻步骤中的蚀刻液不会聚积而轻易地流向基板两侧。本发明是一种于基板的蚀刻步骤中移送基板的基板移送装置，至少具备：基板支撑台，其支撑基板的两侧而使基板被弯曲，以使蚀刻液流向基板的两侧；以及移送驱动部，其使基板支撑台移动以移送基板。