摘要 |
Джерело (1) плазми призначене для нанесення покриття на підкладку (9) і виконане з можливістю з'єднання з джерелом (Р) енергії, що містить електрод (2), магнітний вузол (4), який знаходиться на периферії згаданого електрода і містить сукупність магнітів, з'єднаних між собою магнітною опорою (46), що включає в себе щонайменше перший і другий центральні магніти (43, 44) і щонайменше один головний магніт (45), електрично ізолюючу оболонку (5), розташовану таким чином, щоб оточувати електрод і магніти. |