| 摘要 |
본 발명은, 재료와 피성막 기판 사이에 마스크를 형성하지 않고, 피성막 기판에 미세한 패턴의 박막을 형성하는 성막용 기판, 및 성막 방법을 제공하는 것을 과제의 하나로 한다. 또한, 이러한 성막 방법을 사용하여 발광 소자를 형성하고, 고섬세한 발광 장치를 생산성 좋게 제작하는 것을 과제의 하나로 한다. 제 1 영역 및 제 2 영역을 포함하는 투광성 기판과, 제 1 영역에 있어서, 투광성 기판 위에 투광성의 제 1 단열층과, 제 1 단열층 위에 광 흡수층과, 광 흡수층 위에 제 1 유기 화합물 재료를 포함하는 층과, 제 2 영역에 있어서, 투광성 기판 위에 반사층과, 반사층 위에 제 2 단열층과, 제 2 단열층 위에 제 2 유기 화합물 재료를 포함하는 층을 갖고, 제 2 단열층의 단부는 반사층의 단부보다 내측에 위치하고, 제 1 단열층과 제 2 단열층은 간격을 갖는다. |
