| 摘要 |
조명 광학계를 거쳐서 광으로 조사된 피검안으로부터의 귀환광의 파면을 검출하는 파면검출부; 상기 검출된 파면에 의거하여 구동영역중 일부 영역인 보정유효영역을 구동함으로써 수차를 보정하는 보정부; 상기 보정부의 상기 구동영역상의 상기 귀환광의 쉬프트량을 검출하는 쉬프트 검출부; 및 상기 검출된 쉬프트량에 의거하여 상기 보정부의 상기 구동영역중 상기 보정유효영역이 상기 귀환광의 쉬프트된 위치를 따르도록 상기 보정부를 제어하는 제어부를 구비한, 안저촬상장치. |
