| 摘要 |
고전압 융합 배기부 플라즈마 정화장치가 개시된다. 본 발명에 따른 고전압 융합 배기부 플라즈마 정화장치는, 반도체 반응로(챔버)와 진공펌프의 중간에 형성되며 트랜스포머 결합 플라즈마(Transformer Coupled Plasma, TCP)를 형성하는 리액터; 리액터의 외부에 장착되는 페라이트 코어 어셈블리; 페라이트 코어 어셈블리에는 감겨져 전력을 인가하는 전력선 및 파워제네레이터; 리액터의 외부에 형성되며 페라이트 코어 어셈블리의 위치와 겹치지 않도록 장착되는 고전압 점화장치;를 포함한다. 이에 따르면, 아르곤, 질소 가스 없이도 초기 방전이 가능하며, 특히 대량 가스 유입시에도 플라즈마를 유지할 수 있는 큰 장점이 있다. |
