发明名称 WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN GEINTEGREERDE DUNNE-FILMKETEN EN GEINTEGREERDE DUNNE-FILMKETEN VERVAARDIGD VOLGENS DEZE WERKWIJZE.
摘要
申请公布号 NL138799(B) 申请公布日期 1973.05.15
申请号 NL19680013694 申请日期 1968.09.25
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO. 发明人
分类号 C23C14/35;C23F1/02;C23F4/00;H01L49/02;(IPC1-7):H05K1/16;B23P1/00 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
地址