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发明名称
WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN GEINTEGREERDE DUNNE-FILMKETEN EN GEINTEGREERDE DUNNE-FILMKETEN VERVAARDIGD VOLGENS DEZE WERKWIJZE.
摘要
申请公布号
NL138799(B)
申请公布日期
1973.05.15
申请号
NL19680013694
申请日期
1968.09.25
申请人
HITACHI, LTD., TOKIO.
发明人
分类号
C23C14/35;C23F1/02;C23F4/00;H01L49/02;(IPC1-7):H05K1/16;B23P1/00
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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