发明名称 SPUTTERING
摘要
申请公布号 GB2015581(B) 申请公布日期 1982.02.10
申请号 GB19790008628 申请日期 1979.03.12
申请人 ULTRA ELECTRONIC CONTROLS LTD 发明人
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
地址
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