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发明名称 MANUFACTURE OF MIS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02292866(A) 申请公布日期 1990.12.04
申请号 JP19890113466 申请日期 1989.05.02
申请人 NEC CORP 发明人 SAEKI TAKANORI
分类号 H01L21/3205;H01L21/265;H01L21/28;H01L23/52;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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