发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04275456(A) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 JP19910037430 申请日期 1991.03.04
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 IKEDA TAISUKE;TSUYAMA TOMOSUKE;MUKODA HIDEFUMI;NAGAI YOSHIKAZU;FURUSAWA KAZUNORI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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