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发明名称 AGENT FOR FORMING FINE PATTERN OF FERROELECTRIC THIN FILM AND METHOD FOR FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH05132562(A) 申请公布日期 1993.05.28
申请号 JP19910299289 申请日期 1991.11.14
申请人 ROHM CO LTD 发明人 KANZAWA AKIRA
分类号 C08G79/00;G03F7/004;G03F7/038 主分类号 C08G79/00
代理机构 代理人
主权项
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