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经营范围
发明名称
FORMATION OF METALLIC NITRIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH05132778(A)
申请公布日期
1993.05.28
申请号
JP19910295586
申请日期
1991.11.12
申请人
LIMES:KK
发明人
ISHII YOSHIRO;OTSU HIDEHIKO
分类号
C23C16/34;C23C16/46;C23C16/50
主分类号
C23C16/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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