| 发明名称 |
MEASURING APPARATUS FOR PARTICLE ON SUBSTRATE SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06249773(A) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
| 申请号 |
JP19930057723 |
申请日期 |
1993.02.23 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SHINOZUKA SHUHEI;MORI SATOSHI;ONO KOJI;MATSUMURA MASAO |
| 分类号 |
G01N15/02;G01N15/10;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N15/02 |
主分类号 |
G01N15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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