发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08330588(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19960058636 申请日期 1996.03.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ARAI MASATOSHI;NAKABAYASHI TAKASHI
分类号 H01L21/336;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/824 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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