发明名称 METHOD OF FORMING POROUS FILM
摘要
申请公布号 JPH1131690(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19970186346 申请日期 1997.07.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AOI NOBUO
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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