发明名称 DARK FIELD ILLUMINATOR
摘要
申请公布号 JPH11153755(A) 申请公布日期 1999.06.08
申请号 JP19980074516 申请日期 1998.03.23
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 SUKEGAWA MINORU
分类号 G02B21/10;(IPC1-7):G02B21/10 主分类号 G02B21/10
代理机构 代理人
主权项
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