| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE AND INSULATING FILM FORMING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11102907(A) |
申请公布日期 |
1999.04.13 |
| 申请号 |
JP19970261504 |
申请日期 |
1997.09.26 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
OGAWA YASUYUKI;GOTO MASAHITO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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