背面照射型摄像元件

摘要

一种背面照射型摄像元件，背面照射型摄像元件(1)具备多个电荷阻止区域(19)，其设置在表面(12)侧并被CCD型电荷传送路(21)埋入，沿CCD型电荷传送路(21)延伸的第一部分(19a)的从表面(12)测量的第一厚度T1大于沿通道终止部(20)延伸的第二部分(19b)的第一厚度T2。

主权项

1、一种背面照射型摄像元件，其特征在于，其包括：第一导电型的变换层，其设置在射入线射入的背面侧而把所述射入线变换成信号电荷；第二导电型的多个输入区域，其对于各个构成二维排列的多个像素是设置在与所述背面相反侧的表面侧；第二导电型的多个CCD型电荷传送路，其对于各个所述多个输入区域是设置在所述表面侧，且相互平行地延伸并从对应的所述输入区域传送信号电荷；第二导电型的电荷收集层，其与所述变换层的所述表面侧邻接设置而使所述变换层产生的电荷向所述输入区域移动；第二导电型的多个电荷累积部，其从所述电荷收集层延伸到各个所述输入区域；第一导电型的多个电荷阻止区域，其设置在所述表面侧且埋入所述CCD型电荷传送路，而且是沿所述CCD型电荷传送路延伸的第一部分的杂质浓度高于沿相互邻接的所述CCD型电荷传送路之间间隙延伸的第二部分的杂质浓度。