药液混合方法和药液混合装置

摘要

本发明提供在混合硫酸和双氧水时可以充分地生成对从基板上剥离抗蚀剂等有效的卡罗酸。首先用硫酸充满内槽(10)，同时从内槽(10)溢出的硫酸也流入到外槽(12)中。接着向内槽(10)供给双氧水，使双氧水流入外槽(12)内，在该外槽(12)内储存双氧水和硫酸的2种液体。在流入双氧水的同时使回流泵(16)工作。

主权项

1.一种药液混合方法，该方法是混合硫酸和双氧水的药液混合方法，其特征在于，具有以下工序：分别准备内槽、设置在该内槽周围并从内槽溢出的液体所流入的外槽、用于使外槽内的液体返回至内槽的回流管、以及设置在回流管上将外槽内的液体送至内槽的回流泵的工序；向内槽供给硫酸的硫酸供给工序、即利用硫酸充满该内槽的同时，从内槽溢出的硫酸也流入到外槽中的硫酸供给工序；在上述硫酸供给工序后向内槽或外槽供给双氧水的双氧水供给工序、即使双氧水流入到外槽内并在该外槽内储存双氧水和硫酸2种液体的双氧水供给工序；在开始上述双氧水供给工序的同时使上述回流泵工作，将外槽内的过氧化氢和硫酸的2种液体同时送至内槽，将双氧水和硫酸混合的回流泵工作工序。