| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области микроэлектроники и предназначена для устранения недопустимых дефектов маскирующего покрытия типа «прокол» и «вырыв». Устройство состоит из нагревательной камеры и рабочей камеры. В нагревательной камере происходит испарение металлоорганического вещества, пары которого с помощью азота подаются в рабочую камеру. В рабочей камере происходит осаждение металлоорганического вещества из газообразной фазы при помощи лазерной стимуляции.</p> |
