| 发明名称 | 氧化铝绝缘层的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了采用溶胶-凝胶法制作铝醇盐的先驱物，以特定的涂布方法处理后，在常压与低温条件下，以紫外光或热处理使涂布的先驱物固化成膜，而制得绝缘电气性质良好的氧化铝绝缘层，或搭配准分子激光或紫外光曝光，完成氧化铝绝缘层的图案制作，有别于目前薄膜晶体管普遍采用的电浆辅助化学气相沉积法制作的氮化硅或二氧化硅无机绝缘层方法，更适合未来低成本大面积化与印刷连续式的平面显示器制作。 | ||
| 申请公布号 | CN100470735C | 申请公布日期 | 2009.03.18 |
| 申请号 | CN200610058374.4 | 申请日期 | 2006.03.03 |
| 申请人 | 台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会;中华映管股份有限公司;友达光电股份有限公司;广辉电子股份有限公司;瀚宇彩晶股份有限公司;奇美电子股份有限公司;财团法人工业技术研究院;统宝光电股份有限公司 | 发明人 | 陈其伟;萧名男;王朝仁 |
| 分类号 | H01L21/316(2006.01)I;H01L21/288(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/316(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄 健 |
| 主权项 | 1. 一种氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于，步骤包括：提供具有一铝醇盐、一醇类溶剂、一螯合剂及水的混合原料；搅拌该混合原料，以形成一溶胶-凝胶氧化铝先驱物；将该溶胶-凝胶氧化铝先驱物涂布于一基材；及以紫外光曝光固化方式于该基材上形成有图案氧化铝膜。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||