微影装置及元件制造方法

摘要

本发明系关于一种用于控制一物件之一位置或位置相关量的控制系统，其包含：一量测系统，该量测系统经组态以量测该物件之一位置或位置相关量；一控制器，该控制器经组态以基于该经量测位置或位置相关量来提供一控制信号；及一致动器，该致动器经组态以基于该控制信号来致动该物件，其中该控制系统进一步包含至少一滤波器单元，该至少一滤波器单元经组态以过滤该经量测位置或位置相关量，其中该至少一滤波器单元为一部分阶滤波器(partial order filter)单元。