| 摘要 |
スクライブ装置１は、上面にアライメントマークＭ１、Ｍ２、Ｍ３・・・が記された脆性材料基板としてのガラス基板５を載置し、位置決めし、吸着固定するワークテーブル６と、ワークテーブル６の上方において、ガラス基板５の上面に平行してＸＹ平面座標系の移動を行うスクライブヘッド２と、スクライブヘッド２に並設され、スクライブヘッド２と共に一体となっているＣＣＤカメラ１０と、スクライブヘッド２及びＣＣＤカメラ１０を一体としてＸＹ平面座標系を移動させる共通のＸ軸移動手段３及びＹ軸移動手段４と、ＣＣＤカメラ１０による撮像指示、撮像した画像の画像処理及び演算処理を行う画像処理装置と、Ｘ軸移動手段３及びＹ軸移動手段４の移動を数値制御するＮＣ装置とを備えている。 |
