| 摘要 |
본 발명은 반도체 웨이퍼 처리 장치 중 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 N2를 공급하는 LPM(Load Port Module)의 N2 퍼지 노즐에 있어서, 상기 노즐 상단에 결합되는 노즐패드; 및 상기 노즐패드 상측에 결합되고, 상하측이 관통된 횡격막이 형성되어, N2 퍼지시 압력에 의해 상기 횡격막이 팽창하면서 리크를 방지하는 고무패드;를 포함하고, 상기 고무패드는 상기 횡격막이 쳐지는 것을 지지하는 돌기가 하측으로 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 리크 방지 기능을 갖는 N2 퍼지 노즐에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 FOUP(Front Opening Unified Pod)이 LPM(Load Port Module)에 안착 시 노즐의 스프링이 수축되면서 FOUP(Front Opening Unified Pod)은 레벨 변화 없이 노즐과 압착된 상태로 LPM(Load Port Module)에 안착되어 노즐 교체없이 여러 종류의 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 리크 발생 없이 N2를 공급하고, N2 퍼지 시 횡격막을 통해 FOUP(Front Opening Unified Pod)의 N2 주입구에 맞도록 형태가 변형하면서 기밀을 유지할 수 있는 리크 방지 기능을 갖는 N2 퍼지 노즐을 제공할 수 있다. |
