| 发明名称 |
OPTICAL MASK |
| 摘要 |
PURPOSE:To ensure a uniform coating of the photo resist over the entire surface by making use of a nearly circular-shaped transparent substrate. |
| 申请公布号 |
JPS5399772(A) |
申请公布日期 |
1978.08.31 |
| 申请号 |
JP19770014376 |
申请日期 |
1977.02.10 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
OBATA TAKESHIGE;IINO TERUO;OGUCHI TOSHIO |
| 分类号 |
G03F1/60;H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
G03F1/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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