发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SUPPLYING GAS TO VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01152268(A) 申请公布日期 1989.06.14
申请号 JP19870312945 申请日期 1987.12.10
申请人 DAIDO STEEL CO LTD 发明人 KATO OSAMU
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址