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经营范围
发明名称
VACUUM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01152264(A)
申请公布日期
1989.06.14
申请号
JP19870310512
申请日期
1987.12.08
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
MIYAZAWA MAKOTO
分类号
C23C14/24
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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