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发明名称 SPLIT TYPE SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号 JPH0336266(A) 申请公布日期 1991.02.15
申请号 JP19890167088 申请日期 1989.06.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAWANA TAKESHI;DAIROKU NORIYUKI;SAWASE FUMIHIKO;SANO MAKOTO;TAKAHASHI NAOKI;ABE KATSUO;KATAOKA HIROYUKI
分类号 C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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