发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH08329873(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950130019 申请日期 1995.05.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 OUCHI YASUO;KUROSAKI TOSHISHIGE
分类号 H01J37/20;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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