发明名称
摘要
申请公布号 JP2796383(B2) 申请公布日期 1998.09.10
申请号 JP19890325981 申请日期 1989.12.18
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 OOMOTO YUTAKA
分类号 C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利