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发明名称
摘要
申请公布号 JP2794381(B2) 申请公布日期 1998.09.03
申请号 JP19930112517 申请日期 1993.04.16
申请人 JAPAN ENAJII KK 发明人 ANAMI JUNICHI;WADA HIRONORI;YASUOKA AKIO;KANANO OSAMU
分类号 C22C1/05;B22F3/10;C23C14/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C22C1/05
代理机构 代理人
主权项
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