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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH11100675(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970278043 申请日期 1997.09.25
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 SATO EIJI;NIRASAWA NOBUHIRO;KOMATSU NOBUHISA
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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