| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR IMMERSION OF TAPELIKE OBJECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11153529(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19970319294 |
申请日期 |
1997.11.20 |
| 申请人 |
KANAGAWA ACAD OF SCI & TECHNOL;TOSHIBA MACH CO LTD |
发明人 |
HIGUCHI TOSHIRO;NANTO HIROSHI;KOKUBO MITSUNORI |
| 分类号 |
G01N33/48;G01N1/30;G01N33/02;(IPC1-7):G01N1/30 |
主分类号 |
G01N33/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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