| 发明名称 |
MICROSCOPIC GAS FLOW RATE MEASURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11153461(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19970338123 |
申请日期 |
1997.11.21 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
OBA RYOJI;KAWACHI AKINORI |
| 分类号 |
G01F1/00;G01F15/04;(IPC1-7):G01F1/00 |
主分类号 |
G01F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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