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发明名称 OPTICAL ELEMENT AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS EMPLOYING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100255255(B1) 申请公布日期 2000.06.01
申请号 KR19920021177 申请日期 1992.11.12
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 OIZUMI, HIROAKI;ITO, MASAAKI;SOGA, TAKASHI;OGAWA, TARO;MOCHIJI, KOZO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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