发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UNE COUCHE ISOLANTE ENTERREE DANS UN SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR, PAR IMPLANTATION IONIQUE
摘要
申请公布号 FR2563377(B1) 申请公布日期 1987.01.23
申请号 FR19840006232 申请日期 1984.04.19
申请人 COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MICHEL BRUEL ET JEAN DU PORT DE PONCHARRA;PONCHARRA JEAN DU PORT DE
分类号 H01L21/02;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/223;H01L21/26 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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