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发明名称 Method of liquefying and condensing nitrogen trifluoride and a method of purifying nitrogen trifluoride
摘要
申请公布号 US4975259(A) 申请公布日期 1990.12.04
申请号 US19890382788 申请日期 1989.06.26
申请人 MITSUI TOATSU CHEMICALS, INC. 发明人 HYAKUTAKE, HIROYUKI;HARADA, ISAO;IWANAGA, NARUYUKI;NISHITSUJI, TOSHIHIKO
分类号 C01B21/083;C25B1/00;F25J1/00;F25J1/02;F25J3/02;F25J3/08 主分类号 C01B21/083
代理机构 代理人
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