| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0442964(A) |
申请公布日期 |
1992.02.13 |
| 申请号 |
JP19900148999 |
申请日期 |
1990.06.06 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MATSUO NAOTO;OKADA SHOZO;YABU TOSHIKI;MATSUMOTO SUSUMU;NAKADA YOSHIRO |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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