| 发明名称 |
PRODUCTION OF INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06330322(A) |
申请公布日期 |
1994.11.29 |
| 申请号 |
JP19930177193 |
申请日期 |
1993.05.20 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
ITO KENJI;CHIYOU KOUYUU |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/50;C23C16/505;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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