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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0750418(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19930214993 申请日期 1993.08.06
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 AOYANAGI TAMIO
分类号 H01L21/266;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
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