发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0750395(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19930195829 申请日期 1993.08.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIKI HIROSHI;OJI YUZURU;TAJI SHINICHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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