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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0799195(A) 申请公布日期 1995.04.11
申请号 JP19930240049 申请日期 1993.09.27
申请人 NEC CORP 发明人 FUKASE TADASHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/321 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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