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发明名称 Process for the production of relief patterns and relief images
摘要
申请公布号 EP0480287(B1) 申请公布日期 1997.01.15
申请号 EP19910116740 申请日期 1991.10.01
申请人 BASF AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHWALM, REINHOLD, DR.;BINDER, HORST
分类号 G03F7/38;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/38 主分类号 G03F7/38
代理机构 代理人
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