| 发明名称 |
ELECTRON BEAM EXPOSING DEVICE AND ELECTRON BEAM EXPOSING METHOD TO REDUCE CURRENT AMOUNT OF ELECTRON BEAMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09213257(A) |
申请公布日期 |
1997.08.15 |
| 申请号 |
JP19960017989 |
申请日期 |
1996.02.02 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
DAIKYO YOSHIHISA;ABE TOMOHIKO;YAMADA AKIO;YASUDA HIROSHI |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/04;H01J37/09;H01J37/147;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/305 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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