| 发明名称 |
MANUFACTURE OF BUMP ELECTRODE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09213700(A) |
申请公布日期 |
1997.08.15 |
| 申请号 |
JP19960013445 |
申请日期 |
1996.01.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TAJIMA NAOYUKI;KOMATSU TETSUO |
| 分类号 |
C23F1/28;C23F1/30;C23F1/40;H01L21/321;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
C23F1/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
