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发明名称 ION IMPLANTATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR0170394(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19900013914 申请日期 1990.09.04
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KIKUCHI, SHUJI;YAMAGUCHI, MITSUYUKI;MATSUDO, MASAHIKO
分类号 H01J37/317;H01J37/02;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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