| 摘要 |
<p>Die bekannten Einrichtungen zur Plasmabehandlung haben den Nachteil, dass die Stromdichte und damit die Ätzrate nicht beliebig zu steigern ist, um die Produktivität zu erhöhen. Außerdem arbeiten diese mit einem hohen Gasdruck. Die Einrichtungen, die mit hohem Gasdruck arbeiten, sind nicht geeignet, um ferromagnetische oder dicke Werkstücke zu behandeln. D.h. das Anwendungsgebiet ist begrenzt. Erfindungsgemäß besteht die Einrichtung aus einer magnetfelderzeugenden Einrichtung, das Werkstück ist als Elektrode einer Niederdruckentladung geschaltet, die Gegenelektrode ist außerhalb des Magnetfeldes angeordnet, an das Werkstück und die Gegenelektrode wird ein gepulster Strom angelegt. Die Einrichtung dient der Plasmabehandlung beliebiger Werkstücke bezüglich Material, Form und Materialdicke. Es ist eine hohe Abtragerate zu erzielen, bei niedrigem Gasdruck und hoher Produktivität.</p> |
